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質量流量控制器

氣體質量流量控制器差壓式質量流量控制器科里奧質量流量計流量控制器熱式流量控制器

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5910D4GRYLLS數字量氣體流量控制器

更新時間：2025-05-28

型號：5910D4

瀏覽量：2434

GRYLLS數字量氣體流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；
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5930D4GRYLLS差壓式液體流量控制器

更新時間：2025-05-28

型號：5930D4

瀏覽量：2322

GRYLLS差壓式液體流量控制器采用無熱漂移，無響應滯后的差壓質量測量原理，無熱漂移，可以忽略的溫移和時漂，長期穩定性0.1%F.S/年，準確度1.0%，量程可在100：1范圍內按鍵設定，無需標定，可以同時顯示和輸出：瞬時流量、累計流量、壓力、溫度等。
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GRYLLS-6610差壓式質量流量控制器

更新時間：2025-05-28

型號：GRYLLS-6610

瀏覽量：2307

Grylls6600差壓式質量流量控制器沒有附加的“比熱容“誤差。所以，即使測量氣體與出廠時的標定氣體不同，也不會影響測量精度。
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GRYLLS 6620差壓式質量流量控制器

更新時間：2025-05-28

型號：

瀏覽量：2169

GRYLLS 6620差壓式質量流量控制器產品特色：多氣體系數切換V2.0 氣體轉換系數提供多種預置的氣體系數轉換：完整列表見操作手冊附錄。如果您需要的氣體介質表列中沒有，請聯系我們。我們還可以校準各種復雜的氣體混合物。
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差壓質量流量控制器

更新時間：2025-05-28

型號：

瀏覽量：2254

差壓質量流量控制器由質量流量傳感器，層流分層件，流量控制器調節閥和放大控制電路組成，采用數字信號輸入輸出，具有預熱時間短，零漂小，可靠性高等特點。
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Grylls6600差壓式質量流量控制器

更新時間：2025-05-28

型號：

瀏覽量：2386

Grylls6600差壓式質量流量控制器與熱式流量計不同，當使用氣體轉換系數時，Grylls6600沒有附加的“比熱容“誤差。所以，即使測量氣體與出廠時的標定氣體不同，也不會影響測量精度。
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Grylls6600差壓式質量流量控制器

更新時間：2025-05-28

型號：Grylls6600

瀏覽量：2394

Grylls6600系列差壓式質量流量控制器采用無熱漂移，無響應滯后的差壓質量測量原理，無熱漂移，可以忽略的溫移和時漂，長期穩定性0.1%F.S/年，準確度1.0%，量程可在100：1范圍內按鍵設定，無需標定。
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GRYLLS-6600差壓式質量流量控制器

更新時間：2025-05-28

型號：GRYLLS-6600

瀏覽量：2279

GRYLLS-6600差壓式質量流量控制器采用無熱漂移，無響應滯后的差壓質量測量原理，可以同時顯示和輸出：瞬時流量、累計流量、壓力、溫度等。當需要控制功能時，還可以加裝電磁比例調節閥和內置PID 調節功能。與熱式流量計不同，當使用氣體轉換系數時，GRYLLS-6600質量流量控制器沒有附加的“比熱容”誤差。所以，即使測量氣體與出廠時的標定氣體不同，也不會影響測量精度。
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